EDX / EBSD
Quelles sont les principales différences entre l'analyse EBSD et l'analyse EDX ?
L'analyse EBSD (Electron Backscatter Diffraction) et l'analyse EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) sont deux méthodes de caractérisation microstructurelle des matériaux cristallins basées sur la diffraction du rayonnement sur des plans cristallins.
Elles sont utilisées pour mesurer l'orientation cristallographique des grains, la taille et la forme des grains, la texture, les défauts et les phases présentes dans un échantillon.
La principale différence entre les deux techniques réside dans le type de rayonnement utilisé : des électrons pour l'EBSD et des rayons X pour l'EDX.
Qu'est-ce que l'EDX ?
L'EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) est une technique d'analyse des éléments et de la composition basée sur les informations fournies par les rayons X générés par l'irradiation électronique. Lorsqu'un vide est créé dans l'orbitale électronique de la couche interne d'un atome par un électron incident, des électrons d'un niveau électronique supérieur sont transférés depuis la couche externe afin de stabiliser l'atome.
Le rayonnement X ainsi émis est appelé rayonnement X caractéristique et a une valeur énergétique déterminée pour chaque élément. L'énergie des rayons X caractéristiques obtenus permet de déterminer la présence des éléments (4Be à 98Cf) dans l'échantillon en quelques secondes (analyse qualitative). L'intensité des rayons X caractéristiques peut également être utilisée pour mesurer la teneur de chaque élément (analyse quantitative) et pour analyser la ségrégation dans le champ de vision (cartographie par rayons X).
Qu'est-ce que l'EBSD ?
L'EBSD est une technique de caractérisation des matériaux basée sur le microscope électronique à balayage (MEB). Dans l'EBSD, le faisceau d'électrons balaye la surface d'un échantillon cristallin incliné ; les électrons diffractés forment en chaque point un motif qui peut être capturé et analysé à l'aide de matériel et de logiciels spécifiques. En chaque point, le processus d'indexation fournit des informations sur la phase et l'orientation cristallographique, à partir desquelles la microstructure peut être efficacement reconstruite. Cela permet une caractérisation complète des propriétés microstructurelles de l'échantillon. L'EBSD est aujourd'hui rapide et entièrement automatisée, ce qui en fait un outil performant dans de nombreux domaines industriels et de recherche, comme le montre le tableau ci-dessous.
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