Tisch-REM Coxem

Ein Tisch-REM kombiniert die kleine Grundfläche und einfache Bedienung des Lichtmikroskops mit der hohen Auflösung und den analytischen Möglichkeiten des Elektronenmikroskops. Mit der Navigationskamera wird ihre Probe und der zu untersuchende Bereich schnell gefunden und mit den Autofunktionen entsteht ein Bild in kürzester Zeit.

Während der SE (für Sekundärelektronen) Detektor ein Bild mit Topographie und grosser Tiefenschärfe ergibt, ist der BSE (für Rückstreuelektronen) der ideale Detektor, um unterschiedliche Zusammensetzung zu zeigen, beispielsweise Fremdpartikel oder Einschlüsse. Beide Detektoren sind standardmässig enthalten.

Das Gerät kann im Hochvakuum oder im sogenannten Niedervakuum betrieben werden. Das Hochvakuum ist für hohe Auflösungen bei elektrisch leitenden oder beschichteten Proben ideal.  Bei isolierenden Proben wird ein niedrigeres Vakuum in der Kammer erzeugt, sodass die Ladung auf der Oberfläche neutralisiert wird. 

Der grosse Spannungsbereich im COXEM Tisch-REM bringt grosse Vorteile, um unterschiedliche Proben abzubilden. Die tiefen Spannungen unter 5 kV ermöglichen es, die Oberfläche äusserst fein und strukturiert abzubilden, während die hohen Spannungen bis 30 kV einen grossen Nutzen in der Materialbestimmung mittels EDX haben oder auch Strukturen unter der Oberfläche abbilden können.

Das COXEM REM kann mit einem Mikroanalyse System erweitert werden und ermöglicht Ihnen eine qualitative und quantitative Analyse der Probe. Das EDX System besteht aus eine Röntgendetektor, einer Hardware und der AZTec Software mit breiten Möglichkeiten wie Mapping und Linescans