XUUS EUV

Ultraschnelle EUV-Lichtquelle für den Labortisch

Das XUUS von KMLabs ist eine kohärente, ultraschnelle Quelle für extremes Ultraviolett (EUV), die von einem intensiven, ultraschnellen Lasersystem wie dem RAEA von KMLabs angesteuert wird.

Das XUUS wandelt die Nah-IR-Impulse des Ansteuerungslasers in den Bereich des extremen Ultravioletts (EUV oder XUV) des Spektrums um. Durch den Einsatz des von KMLabs patentierten Hohlwellenleiters ist der ausgegebene EUV-Strahl aus der Erzeugung hoher Harmonischer (HHG) hell, kohärent und ultrastabil – was anspruchsvolle Anwendungen ermöglicht.

Je nach verwendetem Edelgas können die EUV-Wellenlängen von ~10 bis 60 nm eingestellt werden. Kundenspezifische Systeme können auf Anfrage Wellenlängen von bis zu 6 nm erreichen.

Das neueste Modell XUUS 5 ist auf Flexibilität ausgelegt: Es ist sowohl für 30 nm als auch für 13 nm optimiert und kann mit verschiedenen Laserwellenlängen und Lasern betrieben werden.

Der EUV-Ausgangsstrahl wird über die Beamline-Module von KMLabs unter Hochvakuum zur experimentellen Endstation geleitet. Weitere Informationen zur Vielfalt unserer Beamline-Module finden Sie in der Arterium-Suite.