COXEM Table Top SEM

MEB de table – associant le volume réduit et la facilité d’utilisation d’un microscope optique à la haute résolution et capacités d’analyse d’un microscope électronique. A l’aide de la caméra de navigation intégrée, votre échantillon et votre région d’étude sont repérables très facilement. Des fonctions automatiques rapides aide l’opérateur à obtenir une image en peu de temps.

 

Le détecteur SE (électrons secondaires) fourni une image avec des informations topographiques. Le détecteur BSE (électrons rétrodiffusés) est le détecteur de choix pour montrer les différences de composition, comme des particules ou des inclusions. Les deux détecteurs sont inclus.

 

Le microscope peut être utilisé en mode « vide élevé » ou en mode « vide modéré ». Le vide élevé est idéal pour obtenir des images de haute résolution sur des échantillons conducteurs ou recouvert. Pour les échantillons isolants, un vide modéré est utilisé dans la chambre pour neutraliser les charges de surface.

 

Le large choix de tension d’accélération offert avec le COXEM est indispensable pour imager une large variété d’échantillons. Les tensions de moins de 5 kV permettent des images haute résolution d’échantillons à surface fragile. Les hautes tensions jusqu’à 30 kV permettent la détection claire d’éléments lourds pendant une mesure EDX ainsi que la détection des structures en profondeur.

 

Le MEB COXEM peut être complété avec un système de micro-analyse (EDX), fournissant des informations qualitatives et quantitatives à propos de votre échantillon. Ce système est composé d’un détecteur à rayons X, d’un analyseur et du logiciel AZtec qui inclut différents modes d’analyse comme la cartographie ou la coupe linéaire.

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