XUUS EUV

Source de lumière EUV ultra-rapide de table

Le XUUS de KMLabs est une source cohérente d'ultraviolet extrême (EUV) ultra-rapide, pilotée par un système laser ultra-rapide à haute intensité tel que le RAEA de KMLabs.

Le XUUS convertit les impulsions du laser pilote, situées dans le proche infrarouge, vers la région de l'ultraviolet extrême (EUV ou XUV) du spectre. Grâce à l'utilisation du guide d'onde creux breveté par KMLabs, le faisceau EUV de génération d'harmoniques élevées (HHG) en sortie est brillant, cohérent et ultra-stable, ce qui permet des applications complexes.

En fonction du gaz rare utilisé, les longueurs d'onde EUV peuvent être réglées de ~10 à 60 nm. Des systèmes sur mesure peuvent atteindre des longueurs d'onde aussi courtes que 6 nm sur demande.

Le tout dernier XUUS 5 est conçu pour offrir une grande flexibilité : il est optimisé à la fois pour 30 nm et 13 nm, et peut être piloté par différentes longueurs d'onde et différents lasers.

Le faisceau EUV est acheminé vers la station expérimentale finale sous vide poussé via les modules de ligne de faisceau de KMLabs. Pour en savoir plus sur la gamme de nos modules de ligne de faisceau, consultez la suite Arterium.